Österreichische Baunormen
Normdatenbank:
Dokumenten Nummer:
ÖNORM EN ISO 23131
Klassifikation:
ST*N
Preisgruppe:
Preisgruppe 17
Bezeichnung:
Ellipsometrie - Grundlagen (ISO 23131:2021)
zitierte Normen:
ersetzte Normen:
ÖNORM EN ISO 23131 (2022 08 01)
identische Norm:
Registriert als:
ISO/IEC Guide 98-3
Autor:
Komitee 050 Beschichtungsstoffe
Referenz:
ISO 23131:2021 (2021) ,IDT*EN ISO 23131 (2022 11) ,IDT
übersetzt in:
de*en
english text:
Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)
Description:
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkreditie
francoise:
Ellipsométrie - Principes (ISO 23131:2021)
Normdatenbank:
Dokumenten Nummer:
ÖNORM EN ISO 23131
Klassifikation:
DC*N-E
Preisgruppe:
Preisgruppe 13
Bezeichnung:
Ellipsometrie - Grundlagen (ISO 23131:2021)
zitierte Normen:
ÖNORM EN ISO 23131 (2023 02 15)
ersetzte Normen:
identische Norm:
Registriert als:
Autor:
Komitee 050 Beschichtungsstoffe
Referenz:
EN ISO 23131 (2022 07) ,IDT*ISO 23131 (2021 04) ,IDT
übersetzt in:
de*en
english text:
Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)
Description:
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-Vis-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkreditie
francoise:
Ellipsométrie - Principes (ISO 23131:2021)